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繼MD系列后,德爾森超高溫單晶硅表壓、差壓、絕壓傳感器芯片(HMD系列)實現全量程批量生產啦

來源:德爾森 ??2017-06-12 閱讀:838
 德爾森是一家總部位于德國法蘭克福、中國重慶、中國張家港的高新技術企業(yè),致力于智能傳感器研發(fā)、生產與服務。德爾森的主要產品是高端MEMS智能傳感器,現擁有33項國內與國際專利,公司開發(fā)與批量生產的第五代高穩(wěn)定性單晶硅MEMS傳感器芯片,第六代超寬溫區(qū)SOI傳感器芯片,多項指標超過國際一流廠家,技術處于國際領先,也填補了我國工業(yè)級MEMS單晶硅傳感器芯片無法自主研發(fā)與制造的空白。國產傳感器仍以中低端為主,缺乏核心技術和基礎能力,中高檔傳感器產品幾乎100%從國外進口,90%芯片依賴國外,德爾森傳感器的出現,打破了國外高端傳感器的壟斷。現產品已廣泛應用于國內外多個領域:工業(yè)過程自動化、工廠與設備自動化、智能物聯網環(huán)境監(jiān)測、智能結構健康監(jiān)測與診斷、智慧城市與智能建筑、船舶與航空等。
 德爾森是中國首家將 MEMS傳感器芯片設計與生產、傳感器封裝與測試、傳感器通訊與系統(tǒng)集成,這三道核心工藝集合在一起的企業(yè)。這樣德爾森可從傳感器芯片源頭出發(fā)、為客戶與合作伙伴,根據具體應用需求,量身定做定制化產品,共同提高產品在行業(yè)內的高度與更加優(yōu)化的解決方案。
 
繼MD系列后,超高溫單晶硅表壓、差壓、絕壓傳感器芯片(HMD系列)實現全量程批量生產啦
QQ圖片20170612103010 
半導體硅材料在150℃之上,其漏電流會指數級增大,從而導致其電特性無法實現規(guī)律變化,也正是因此超過150℃以上的硅材質MEMS傳感器一直為行業(yè)中的難點。
德爾森公司采用將SOI(絕緣體硅薄膜)技術與MEMS技術巧妙結合的方式,有效的解決了高溫下硅傳感器的漏電流問題,傳承上一代MD系列芯片的3D刻蝕結構,依然延續(xù)了其超高過壓性能與高穩(wěn)定性。
獨特的PVD工藝,使傳感器芯片在高溫下依然擁有優(yōu)異的靜壓特性與長期穩(wěn)定性,使該傳感器芯片完全具備軍工品質的壓力與差壓測量。
 
德爾森HMD系列單晶硅傳感器芯片的特性:
 
■ 標準量程   
    10kPa、40kPa、400kPa、4MPa、40MPa五個標準量程。
 
■ 優(yōu)異的過壓性能
    10kPa芯片過壓達2.5MPa(250倍過壓)
    40kPa芯片過壓達4MPa(100倍過壓)
 
■ 超寬溫區(qū)工作溫度:-196℃~350℃
 
■ 兩種硅基厚度選擇(1.0mm,2.5mm),滿足多種應用。
 
■ 超高橋阻:30kΩ    
    30kΩ超高橋阻保證輸出信號在超寬溫區(qū)內的超高信噪比,同時微小的零點偏移,極佳溫度特性。    
 
HMD系列芯片的量產,填補了我國工業(yè)級MEMS高溫區(qū)型單晶硅傳感器芯片無法自主研發(fā)與制造的空白,解決了我國高端傳感器芯片難點,打破了德美日壟斷。共享技術,提升國際地位,德爾森使命所在!我等莘莘學子使命所在!
 
科技改變世界,追求不斷卓越,德爾森,我們在路上! 

圖說智能化整理加工,原標題:熱烈祝賀德爾森HMD系列超寬溫區(qū)SOI單晶硅傳感器芯片全量程批量生產啦!

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