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原子尺度實時表征與調控助力自旋芯片和集成電路產業發展——2023年度中國儀器儀表學會科學技術獎獲獎項目解讀

為了支撐集成電路產業快速發展，集成電路高端裝備制造已經上升為國家戰略。破解集成電路產業“卡脖子”問題，一大關鍵是實現高端裝備制造的自主可控。